일본서 전량 수입하던 반도체 코팅 소재 국산화 성공
다음 네이버 핵융합연·민간기업 협력 성과.."일본산보다 품질 더 우수" 플라스마 기술을 적용해 입자가 고운 이트륨 옥사이드(왼쪽)와 일반 제품 [국가핵융합연구소 제공. 재판매 및 DB 금지] (대전=연합뉴스) 이재림 기자 = 정부출연 연구기관과 민간 기업이 협력해 전량 일본에서 수입하던 반도체 공정 코팅 소재를 국산화하는 데 성공했다. 국가핵융합연구소(핵융합연)는 미세 분말 상태에서도 뭉치지 않는 용사 코팅 소재 '이트륨 옥사이드'를 국내 기업과 함께 최초로 제조했다고 29일 밝혔다. 이트륨 옥사이드는 반도체 공정 장비에 필요한 소재다. 국내 반도체 제조사가 일본에서 모두 수입해 쓰고 있는 재료다. 용사 코팅은 분말 상태의 재료를 반도체 부품 표면에 뿌려 입히는 기술이다. 내열·내구성을 높이는 과정이다. 일본 것보다 품질 우수한 이트륨 옥사이드 설명도 [국가핵융합연구소 제공. 재판매 및 DB 금지] 우리나라에서 만든 이트륨 옥사이드는 핵융합연의 플라스마 기술을 적용했다. 분말끼리 서로 밀어내는 반발력이 생겨 응집되지 않고 흐름을 좋게 만들 수 있어 치밀하고...