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국산 '초고순도 불화수소' 기술, 8년 전 개발했지만 빛도 못 봤다

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다음 네이버 특허청, 초고순도 불화수소 특허 2011년 접수 일본산 맞먹는 99.999999999% 기술 특허 통과 개발자인 중소기업, 여건상 투자 못해 사업화 실패 대·중소기업 ‘상생 생태계’ 부재가 원인으로 꼽혀 반도체 공정에 쓰이는 ‘초고순도 불화수소’를 만드는 기술이 국내에서도 이미 8년 전에 개발됐던 것으로 확인됐다. 초고순도 불화수소는 일본이 한국을 겨냥해 수출규제 조치를 내린 3가지 핵심소재 가운데 하나다. 기술의 핵심은 불화수소 속 불순물 비중을 100억분의 1 이상 줄이는 것이다. 삼성전자·SK하이닉스에서 수입하는 일본산 불화수소와 맞먹는 순도다. 하지만 이 기술은 빛을 보지 못했다.  기술 개발에 성공한 중소기업은 판로가 확실치 않은 상황에서 거액을 들여 생산시설을 구축할 수 없었다. 사 줄 대기업이 없으면 막대한 손실만 떠안기 때문이다. 이에 국내 산업생태계의 허술한 상생구조가 소재·부품산업 경쟁력의 발목을 잡았다는 비판이 나온다....