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SK, 불화수소 국산화 성공.."반도체 라인에 투입 시작"

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다음 네이버 램테크놀러지와 공동으로 日 수출허가 '0건'인 제품 소재 공급처 다변화 가속 SK하이닉스가 일본의 수출규제 품목 중 하나인 액체 불화수소(식각액) 국산화에 성공했다. 이달 초부터 국내 업체 제품을 일부 반도체 생산라인에 투입하고 있다. 액체 불화수소는 반도체 원판인 웨이퍼를 깎고 불순물을 없애는 데 쓰이는 핵심 소재다. 일본 정부는 대(對)한국 수출규제를 시작한 지난 7월 이후 기체 불화수소 수출은 세 건 승인했지만, 액체 제품 수출은 아직 한 건도 허용하지 않았다. 산업계에선 반도체기업의 핵심 소재 국산화와 수입처 다변화가 예상보다 빠르게 이뤄지고 있다는 평가가 나온다. SK하이닉스 관계자는 2일 “지난 1일부터 일부 생산라인에 일본산 액체 불화수소 대신 국산 제품을 투입하고 있다”고 밝혔다. 이 회사는 액체 불화수소를 램테크놀러지에서 공급받는 것으로 알려졌다. 램테크놀러지는 2001년 10월 설립된 반도체 공정용 화학소재 전문...

"日, 반도체 핵심소재 '액체 불화수소' 韓 수출 지연"

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다음 네이버 블룸버그통신 "가스 형태만 허가" 서울 강남구 삼성전자 서초사옥 딜라이트룸에 전시된 반도체 웨이퍼의 모습. 2019.8.7/뉴스1 © News1 이승배 기자 (서울=뉴스1) 김서연 기자 =  일본이 반도체·디스플레이 제조 공정에 쓰이는 핵심 소재의 한국 수출을 지연하고 있다고 블룸버그통신이 보도했다. 통신은 19일(현지시간) 한국 고위 정부 관리를 인용, 일본은 최근 가스 형태(기체)의 고순도 불화수소(hydrogen fluoride) 수출을 승인했지만 액체 불화수소는 허가하지 않고 있다고 말했다. 이 관리는 해당 정보가 아직 공식적으로 공개되지 않았다는 이유로 익명을 요구하면서 "(일본 정부의 수출 심사) 90일 검토가 끝나지 않았기 때문에 선적을 허가할 수도 있다고 덧붙였다. 일본은 지난 7월 자국 기업이 반도체·디스플레이 제조에 들어가는 3개 핵심소재(플루오린 폴리이미드와 포토레지스트, 고순도 불화수소)를 한국에 수출할 때 기존의 3년짜리 포괄허가가 아닌 개별허가만 내주는 방식으로 수출규제를 강화했다. 이후 극자외선(EUV...